Български English

Вакуумна инсталация за нанасяне на двукомпонентни многослойни покрития чрез магнетронно разпрашаване

 Предназначение

Инсталацията служи за нанасяне на декоративни, корозионноустойчиви, отражателни и други функционални покрития върху стоманени, пластмасови, стъклени и други изделия от промишлеността. Чрез магнетронно разпрашване на мишени от хром-никелова стомана, алуминий, мед, титан и т.н. се нанасят тънки метални покрития върху изделията. Приложението на съоръжението е универсално и бързо се пренастройва от един вид покритие в друг. Характеризира се със силно занижени материални и енeргийни разходи.

 Конструкция

Вакуумната инсталация за нанасяне на двукомпонентни многослойни покрития чрез магнетронно разпрашване е хоризонтален тип и се състои от:
✓ вакуумна камера с монтирана в нея оригинална магнетронна система, осигуряваща възможност за едновременно нанасяне на покрития върху изделия, разположени в две работни пространства;
✓ високовакуумен помпен агрегат;
✓ високоволтово импулсно електрическо захранване и управление за магнетронно разпрашване;
✓ високоволтово импулсно ел.захранване и управление за почистване на изделията в тлеещ разряд;
✓ дозираща газова система за Ar, N2, O2, CH4 ;
✓ водоохладителна система.

 Технически характеристики

Работна площ, броя 2
Размери на работната площ, mm 1200 х 1600
Максимална работна температура, °С 350
Пределен вакуум, hPa 3.10-6